美國(guó)bird 8865SC13型精密射頻負(fù)載為了最大限度地提高工藝的可重復(fù)性和一致性，現(xiàn)代等離子應(yīng)用需要精確的射頻功率調(diào)節(jié)和控制。確保向腔體準(zhǔn)確且可重復(fù)地輸送射頻功率的關(guān)鍵要素是校準(zhǔn)、調(diào)節(jié)和監(jiān)控射頻發(fā)生器。Bird 現(xiàn)在提供超穩(wěn)定、低 VSWR 負(fù)載，當(dāng)與精密功率傳感器（如 Bird 4020 系列）一起使用時(shí)，可快速精確地測(cè)量發(fā)生器功率輸出。8865SC13 不僅提供低 VSWR，而且在工藝關(guān)鍵頻率下 VSWR 的總變化小于 0.1 dB。無需預(yù)熱負(fù)載，也不存在因不同時(shí)間長(zhǎng)度的校準(zhǔn)而導(dǎo)致的可重復(fù)性風(fēng)險(xiǎn)。這可以最大限度地減少與此校準(zhǔn)相關(guān)的錯(cuò)誤，并控制更關(guān)鍵的工藝變量之一。
美國(guó)bird 8865SC13型精密射頻負(fù)載產(chǎn)品規(guī)格介紹如下：
額定功率1 千瓦頻率范圍和 VSWRDC 至 28 MHz @ 1.1 最大
VSWR 小于 1.05:1阻抗Ω50（標(biāo)稱）駐波比穩(wěn)定性< 0.1 dB，穩(wěn)定頻率下 0 至 100% 額定功率穩(wěn)定頻率13.56兆赫±10千赫連接器“QC" 型 LC（母）- 通常供應(yīng)聯(lián)鎖溫控開關(guān) - 可選常閉。236 °C (457 °F) 時(shí)打開熱敏開關(guān)額定值115 伏交流電，10 安
230 伏交流電，5 安溫度范圍工作溫度： +5 至 +40 °C (+41 至 +104 °F)
存儲(chǔ)溫度： -40 至 +45 °C (-40 至 +113 °F)高度1520 米（5000 英尺）濕度最大 95% 非冷凝。冷卻方式油介電體和對(duì)流電流方面19.5 英寸 x 7.5 英寸 x 13.2 英寸
496 x 184 x 334 毫米重量32 磅
14.5 公斤結(jié)束黑色環(huán)氧樹脂
東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司專業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關(guān)、離合器、過濾器、濾芯、流量計(jì)、液位計(jì)、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國(guó)美國(guó)有公司，廠家一手貨源，詳請(qǐng)致電。
