HY85/KDY-1四探針電阻率/方阻測(cè)試儀詳細(xì)資料

【資料簡(jiǎn)介】

　　用來測(cè)量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)）、測(cè)試架及四探針頭組成。
　　
　　本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化，免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測(cè)量某些箔層材料時(shí)，可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測(cè)量帶來很大方便。
　　
　　2、主機(jī)技術(shù)能數(shù)
　　
　　（1）測(cè)量范圍：
　　
　　可測(cè)電阻率：0.0001～19000Ω•cm
　　
　　可測(cè)方塊電阻：0.001～1900Ω•□
　　
　?。?）恒流源：
　　
　　輸出電流：DC0.001～100mA五檔連續(xù)可調(diào)
　　
　　量程：0.001～0.01mA
　　
　　0.01～0.10mA
　　
　　0.10～1.0mA
　　
　　1.0～10mA
　　
　　10～100mA
　　
　　恒流精度：各檔均低于±0.05%
　　
　　（3）直流數(shù)字電壓表：
　　
　　測(cè)量范圍：0～199.99mV
　　
　　靈敏度：10μV
　　
　　基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
　　
　　輸出電源：≥1000ΩM
　　
　?。?）供電電源：
　　
　　AC220V±10%50/60Hz功率：12W
　　
　?。?）使用環(huán)境：
　　
　　溫度：23±2℃相對(duì)濕度：≤65%
　　
　　無較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾，無強(qiáng)光直接照射
　　
　?。?）重量、體積：
　　
　　主機(jī)重量：7.5kg
　　
　　體積：365×380×160（單位：mm長(zhǎng)度×寬度×高度）
　　
　　備注：
　　
　　等級(jí)測(cè)量時(shí)（測(cè)電阻率），精度<3%
　　
　　電氣測(cè)量時(shí)（測(cè)電阻），精度在0.3%以內(nèi)