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油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)的污染物來源

2009年11月18日 15:05:50人氣:283來源:

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【資料簡介】
油擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)的zui大缺點(diǎn)是油蒸汽的污染。
  系統(tǒng)中污染物的主要來源如下:
   (1)擴(kuò)散泵油蒸汽的返流。這是zui重大的污染源。
  ?。?)系統(tǒng)中的零部件,在裝配時用有油的手拿。用有油污的手套拿,這樣粘染的有機(jī)分子可以造成系統(tǒng)內(nèi)的污染。
 ?。?)前級油封機(jī)械泵油的返流。這個問題也很嚴(yán)重,當(dāng)入口壓力較高時,在達(dá)到過渡區(qū)(1~10-1Pa)壓力時,機(jī)械泵的油蒸汽即可直接進(jìn)入擴(kuò)散泵內(nèi),對系統(tǒng)直接進(jìn)行污染。很多真空工藝過程的污染來自機(jī)械泵返油。當(dāng)停機(jī)械泵時如不及時向泵內(nèi)放大氣,機(jī)械泵油可直接返到擴(kuò)散泵油鍋內(nèi)。當(dāng)擴(kuò)散泵起動時對系統(tǒng)的污染更為嚴(yán)重。
  (4)抽氣系統(tǒng)中密封材料的放氣造成的污染。特別是人造橡膠密封圈,密封油脂,潤滑油等,也同樣造成嚴(yán)重的污染。
   (5)當(dāng)停泵后放大氣時,使真空零部件在空氣中粘污上水蒸汽,油煙等,造成對真空系統(tǒng)的污染。
   消除系統(tǒng)油蒸氣返流的具體措施為:
  (1)加大擴(kuò)散泵的啟動功率來縮短機(jī)械泵與擴(kuò)散泵切換時的壓力過渡區(qū)。
 ?。?)通過改變系統(tǒng)操作工藝和用閥門來避開返流危險區(qū)(切換過渡區(qū))。例如,可使一個按照預(yù)定速度開啟的高真空閥,逐漸地開啟它,保證進(jìn)入擴(kuò)散泵的氣體流量低于它的zui大排氣量,并且又使機(jī)械泵抽速保證擴(kuò)散泵前級壓力,以使擴(kuò)散泵能樹立工作。這樣就能避開過渡區(qū)的出現(xiàn)。
   (3)改善操作工藝,將擴(kuò)散泵的加熱功率調(diào)至*功率,避免出現(xiàn)泵油爆沸現(xiàn)象;一般擴(kuò)散泵在加熱開始和關(guān)閉過程中,返流將出現(xiàn)峰值,所以可用泵口處的高真空閥門來控制避免返流。
  (4)在擴(kuò)散泵入口處加裝液氫冷阱或吸附阱來捕集返流油蒸氣。
 ?。?)選用的擴(kuò)散泵工作液。

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