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行業(yè)產(chǎn)品

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上海昊量光電設(shè)備有限公司


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大行程納米平移臺（壓電馬達(dá)型，10-150mm行程）

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更新時間：2024-02-15 13:22:11瀏覽次數(shù)：248次

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產(chǎn)品簡介

納米級高速大行程XLS系列線性，是由超聲波驅(qū)動，可提供不同行程的精確定位

詳細(xì)介紹

納米級高速大行程


XLS系列線性，是由超聲波驅(qū)動，可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波馬達(dá)驅(qū)動，速度可達(dá)到200mm/s，并且該平臺適用于掃描，可提供恒定的掃描速度，速度不穩(wěn)定性低于2%。

該平臺采用超聲波馬達(dá)，對于這種馬達(dá)平臺的運(yùn)動是通過接觸點(diǎn)的橢圓振蕩產(chǎn)生。如下圖所示。通過橢圓的振蕩推動平臺產(chǎn)生微小移動，并通過高頻率產(chǎn)生的速度，并且沒有噪聲，電機(jī)在定位后可產(chǎn)生自鎖，由于馬達(dá)在橢圓振蕩的上端才會與平臺接觸，大大提高平臺的使用壽命通常在10-100km。


XLS系列平臺可提供不同的行程，行程范圍可達(dá)到92mm。為了適應(yīng)不同精度要求的應(yīng)用，平臺集成不同精度的，根據(jù)閉環(huán)系統(tǒng)中傳感器的精度可分為以下幾類線性平臺

1）集成-1250位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺-min setp1250nm，


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

1250

nm

unidirectional   repeatability

±1250

nm

bidirectional   repeatability

±2500

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m

2）集成-312位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺-min setp350nm


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

350

nm

unidirectional   repeatability

±350

nm

bidirectional   repeatability

±700

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m

3) 集成-78位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺-min setp80nm


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

80

nm

unidirectional   repeatability

±80

nm

bidirectional   repeatability

±160

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m

4) 集成-1位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺-min setp25nm


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

25

nm

unidirectional   repeatability

±25

nm

bidirectional   repeatability

±50

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m


此外，由于該平臺采用模塊化設(shè)計(jì)，可以組成多維位移平臺，例如：XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。


 

主要特點(diǎn)：

l  大行程 （100mm）

l  高精度（25nm）

l  高速度（100mm/s）

l  支持?jǐn)嚯娮枣i

l  可在真空和非磁環(huán)境

主要應(yīng)用：

l  光電子學(xué)

l  掃描電子顯微鏡

l  半導(dǎo)體生產(chǎn)

l  醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)

l  生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)

l  顯微鏡和計(jì)量學(xué)

 



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