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日本amux超純水專用的鈦制熱交換器產(chǎn)品介紹

時間:2025/7/2閱讀:73
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替代傳統(tǒng)特氟龍制造熱交換器的鈦制造熱交換器

超純水專用的鈦制熱交換器

由于材料是鈦,與特氟龍相比,可以得到非常大的熱交換效率。
利用緊湊且所需的冷卻水量較少的優(yōu)點,即使在設(shè)備局部線路上控制水溫,由于安裝空間小,這也是一個巨大的優(yōu)點。
價格也比特氟龍制造的要低,可以以低成本提供。
可以替代傳統(tǒng)的特氟龍制造的熱交換器使用。

超純水

  • 由于不純物和金屬離子的溶解極少(保持在TOC 10ppb的水平),因此與特氟龍制造的熱交換器具有同等的清潔度。
    (在多家半導(dǎo)體制造設(shè)備制造商中都有實績。)

臭氧水

  • 臭氧水也可以正常使用。


世界初!鈦制沖壓板式熱交換器配備

通過世界的鈦合金燒結(jié)超級清潔制造方法,利用鈦制造的燒結(jié)專用技術(shù)開發(fā)了原創(chuàng)熱交換器,該技術(shù)適用于部件和連接材料。
成功實現(xiàn)了從傳統(tǒng)的特氟龍熱交換器大幅縮小的尺寸。
由于體積縮小,變得輕便且不占空間,便于安裝。

半導(dǎo)體制造商的成分分析符合標(biāo)準(zhǔn)值

  • 在TOC=10ppd的情況下,達到超級清潔。實現(xiàn)了無污染!

  • 非電阻=15MΩ以上でクリア。


與特氟龍制造的熱交換器比較

  • 1. 價格便宜

  • 2. 非常緊湊

  • 3. 降低冷卻水的流量(使用量)(節(jié)能)

  • 4. 在冷卻水溫度和接近的水溫下,可以提取超純水
    (最大溫差2°C以內(nèi))

鈦制熱交換器 特氟龍制造的熱交換器


超純水高速追隨單回路冷卻器直接瞬間精密溫調(diào)
機種?型號TBS-MT05TBS-MT07TBS-MT11TBS-MT21TBS-LT21TBS-LT41
尺寸L×W×H310×90×25310×90×33310×90×47310×90×82580×150×80580×150×156
回路數(shù)(高溫/低溫)5(2/3)7(3/4)11(5/6)21(10/11)21(10/11)41(20/21)
傳熱面積(平方米)0.0850.1280.2130.4271.3882.776
設(shè)計壓力(MPa)2兆帕
設(shè)計溫度(°C)-196°C~+200°C
流量(升/分鐘)2~162~242~402~8010~20010~400
本體質(zhì)量(kg)1.351.652.263.811.421.5


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