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等離子廢氣處理的工作原理是流星雨?duì)畹母吣艿入x子與介質(zhì)發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)介質(zhì)的 內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程是污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。

污染介質(zhì)在等離子體的作用下， 產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫離。當(dāng)離子平均能量超過污染 介質(zhì)中化學(xué)鏈結(jié)合能時，分子鏈段裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子廢氣凈化器吸附場的作用下被收集。

低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。

放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。

低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。

等離子體反應(yīng)區(qū)富含*的物質(zhì)，如高能電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質(zhì)可與這些具有較高能量的物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，使污染物質(zhì)在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到講解污染物的目的。

與傳統(tǒng)的電暈放電形勢產(chǎn)生的低溫等離子技術(shù)相比較，等離子體技術(shù)放電密度是電暈放電的1500倍，這就是傳統(tǒng)低溫等離子體技術(shù)治理工業(yè)廢氣99%以失敗而告終的原因。

一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產(chǎn)生化學(xué)性活性核素，就是通常所說的激進(jìn)和負(fù)荷載體。此外還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以出塵。同時注入環(huán)境或者二級氣體來優(yōu)化反應(yīng)室的濕度和溫度等級，與此同時加入離子來改善反應(yīng)室內(nèi)的反應(yīng)。這種冷離子體處理方法使有機(jī)氣體在低溫下進(jìn)行“氧化"。