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產(chǎn)品|公司|采購|招標

廣電計量檢測集團股份有限公司

全自動超精密晶圓減薄機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市夢啟半導體裝備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號DL-GD2005A
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2024/10/2 13:48:04
  • 訪問次數(shù)214
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深圳市夢啟半導體裝備有限公司成立于2021年,是經(jīng)深交所主板上市公司長盈精密投資控股的子公司,是一家專注于半導體產(chǎn)業(yè)與新能源產(chǎn)業(yè)的智能裝備制造企業(yè),公司主要專業(yè)從事全自動高精密晶圓減薄機、高精密晶圓拋光機、全自動高精密晶圓倒角機、晶圓研磨機、晶圓上蠟機等硬脆材料的加工裝備、以及高精度氣浮主軸部件系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。


產(chǎn)品廣泛應用于半導體產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)包括但不限于太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍寶石片、砷化鎵、氮化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的加工,同時,公司也提供技術支持和售后服務,以滿足客戶的各種需求。


作為一家智能裝備制造企業(yè),深圳夢啟半導體裝備注重技術創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量。公司擁有一支專業(yè)的研發(fā)團隊,可以根據(jù)市場需求和客戶需求進行定制化開發(fā)。同時,公司也擁有生產(chǎn)設備和完善的品質(zhì)管理體系,確保每一臺設備都符合客戶的期望和要求。在未來的發(fā)展中,深圳市夢啟半導體裝備有限公司將繼續(xù)致力于技術創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量提升,為客戶提供更優(yōu)質(zhì)、更可靠的智能裝備解決方案。

 

全自動晶圓減薄機、晶圓研磨機、晶圓倒角機、CMP拋光機
全自動超精密晶圓減薄機是一款功能全面,兼容性好,配置豐富,全自動系統(tǒng)的高精度研磨設備。全自動上下料,可進行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。
全自動超精密晶圓減薄機 產(chǎn)品信息
設備優(yōu)勢

◎ 減薄單元采用軸向進給(ln-Feed)磨削原理,兼容Φ100~300mm晶圓磨削減薄加工。


◎ 設備配有MARPOSS在線測量儀單元,加工時實時測量產(chǎn)品厚度,精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測量NCG單元。


◎ 設備核心是具有自主產(chǎn)權的2個靜壓氣浮磨削主軸、3個高精度晶圓主軸及1個高剛度大直徑氣浮回轉(zhuǎn)工作臺構造的全自動磨削減薄機。


◎ 全自動上下料??蛇M行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。


◎ 分別在前面、左面、右面各配置了1臺觸摸式液晶顯示器,方便在不同區(qū)域作業(yè)需求,提高了操作便利性。控制畫面可同步顯示加工狀況和設備狀態(tài),操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕,就可以簡單地完成操作。

性能參數(shù)
參數(shù)名稱單位DL-GD2005ADL-GD3005A
晶圓尺寸in?8'' (?4''/?6''/?8'')

?12'' (?8''/?12'')

研磨方式-晶圓旋轉(zhuǎn)進給磨削
砂輪直徑mm?250金剛石砂輪?300金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW7.5/12.95.5
額定轉(zhuǎn)速RPM40003500
磨削精度片間厚度變化
um≤±2≤±3
TTVum≤2≤3
表面粗糙度Raum0.15(#2000)0.15(#2000)
設備尺寸(W x D x H)mm1350x3200x19501544x3622x2000
設備重量KG約3500約4000
15700106413
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