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ZDS-X多路質(zhì)子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)
系統(tǒng)應(yīng)用：
ZDS-X多路質(zhì)子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)
設(shè)備組成：
多路進(jìn)氣管路、質(zhì)子流量計(jì)、混氣罐、出氣管路組成
產(chǎn)品特點(diǎn)：
幾路進(jìn)氣客戶自由定制，標(biāo)準(zhǔn)接口，方便連接
液晶觸摸屏控制輸入每路氣體流量，實(shí)時(shí)查看各路氣體流量曲線
每條氣路均設(shè)置高壓截止閥，方便切斷氣路
技術(shù)參數(shù)：
氣體通路：X條客戶自由定制
氣體類型：客戶自由選擇
流量計(jì)量程：5—500SCCM；1—10SLM自由選擇
工作電壓：220v/50Hz
工作壓差：0.1-0.5MPa
壓力：3MPa
準(zhǔn)確度：±1.0%F.S
質(zhì)子流量計(jì)相應(yīng)時(shí)間：＜1S
測(cè)量范圍：0.1-0.15MPa
混氣罐：304不銹鋼
進(jìn)出氣接口：直徑6mm不銹鋼卡套接口
管道：內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管；外部管采用6mm聚四氟管
控制系統(tǒng)：PLC控制系統(tǒng)，液晶觸摸屏輸入，每路氣路獨(dú)立控制
FDS-X多路浮子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)
系統(tǒng)應(yīng)用：
FDS-X多路浮子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)
設(shè)備組成：
多路進(jìn)氣管路、浮子流量計(jì)、混氣罐、出氣管路組成
產(chǎn)品特點(diǎn)：
幾路進(jìn)氣客戶自由定制，標(biāo)準(zhǔn)接口，方便連接
手動(dòng)調(diào)節(jié)浮子流量計(jì)，方便快接
每條氣路均設(shè)置高壓截止閥，方便切斷氣路
技術(shù)參數(shù)：
氣體通路：X條客戶自由定制
氣體類型：客戶自由選擇
流量計(jì)量程：10-100ml/min；25-250ml/min；50-500ml/min自由選擇
壓力表：-0.1MPa---0.15MPa，0.01MPa/格
混氣罐：304不銹鋼
進(jìn)出氣接口：直徑6mm
管道：內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管
